各有关单位及专家：

为发挥标准引领产业发展作用，由季华实验室提出并牵头起草的《半导体远程等离子体源的解离率测试方法》团体标准业已完成标准的征求意见稿。

标准应在充分协商一致的基础上制定，应反映当前科学技术发展水平，有利于社会发展，有利于取得最佳效益，现向贵单位及专家征求意见，希望各有关单位及专家积极参与，提出宝贵意见或建议，集思广益，使该标准更合理、更符合产业的发展。

请于2024年9月17日之前将意见和建议反馈至标准工作组。

联系人：唐振方

联系电话：136-09644416

联系地址：广州市天河区黄埔大道西601号暨南大学理工学院320房

邮编：510632

邮箱：gvsjnu@126.com

关于团体标准《半导体远程等离子体源的解离率测试方法》征求意见的通知（粤真发〔2024〕10号）.pdf

附件1.《半导体远程等离子体源的解离率测试方法》征求意见稿.pdf

附件2.《半导体远程等离子体源的解离率测试方法》编制说明.pdf

附件3. 《XXXXX》团体标准征求意见表.docx