各有关单位：

根据《广东省真空学会团体标准管理办法》规定，由中山凯旋真空科技股份有限公司牵头制定的《半导体设备用低温泵评价规范》团体标准，业已通过专家审定并经公示无异议。经学会批准和编号，现对该项团体标准予以发布，于2024年8月2日起实施。标准编号和名称如下：

T/GVS 014—2024《半导体设备用低温泵评价规范》

本公告及标准文本可通过全国团体标准信息平台查阅。在标准使用过程若有疑问，请径向学会联系。联系人：唐振方  136-09644416

关于发布《半导体设备用低温泵评价规范》团体标准的公告（粤真发〔2024〕08号）.pdf