各相关单位：

根据国家标准化管理委员会《团体标准管理规定》以及《中关村光电产业协会团体标准管理办法》的有关规定，经审查，《MEMS谐振式器件气密封装漏率测试方法》（T/ZOIA 3022-2025）团体标准符合标准制定全部程序，现予以公布，自2025年7月21日起实施。特此公告。

中关村光电产业协会

2025年7月21日

中关村光电产业协会关于批准发布《MEMS谐振式器件气密封装漏率测试方法》团体标准的公告.pdf