各有关单位、专家：

由中关村光电产业协会组织制定的《MEMS器件晶圆级气密封装漏率测试方法》团体标准已完成征求意见稿。

根据《中光村光电产业协会团体标准管理办法》，为保证标准的科学性、严谨性和适用性，现公开征求意见，欢迎社会各界对标准内容提出修改意见和建议。请各有关单位组织审阅，并于2025年6月25日之前将修改意见反馈至联系人。逾期未回复，视为认可征求意见稿中相关内容。

联系人：周岚

联系电话：010-82028905

邮箱：zgcgdcyxh@163.com

中关村光电产业协会

2025年5月26日

中关村光电产业协会关于《MEMS器件晶圆级气密封装漏率测试方法》团体标准公开征求意见的通知.pdf

《MEMS器件晶圆级气密封装漏率测试方法》-征求意见稿.pdf

《MEMS器件晶圆级气密封装漏率测试方法》-标准编制说明.pdf

标准意见反馈表.doc