各位委员、专家：

联盟标准委员会组织的团体标准项目《集成电路用乙硅烷》、《电子工业用气体氘气》、《30%氧气/氦气混合气》、《1.25%氪气/氖气混合气》、《3.5%氩气/10ppm氙气/氖气混合气》、《集成电路用铝及铝合金溅射靶材》共6项标准已完成征求意见稿，现公开征求专家意见。

请各位专家于2021年11月12日前将反馈意见发送至联盟标准委员会。逾期不复函，视为无意见。

联系人：王大方

电  话：13811525241

邮  件：dafang_wang@icmtia.com

2021年10月12日