各会员单位和有关企、事业单位及专家：

根据《广东省企业创新发展协会团体标准管理办法（试行）》通过广东省企业创新发展协会标准化技术委员会批准立项的团体标准项目，目前《管式等离子体淀积炉安装规范》、《管式扩散氧化退火炉安装规范》两项团体标准已完成征求意见稿的编制。

希望征求贵单位及专家对本标准的意见，现将征求意见稿及相关材料发送给你们，请于2024年2月4日前填写征求意见表（见附件）并加盖单位公章后反馈给我们。可以通过扫描后发邮件的形式反馈，若无意见也请回复无意见，逾期未回复将按无异议处理，感谢您对我们工作的大力支持！

联系人：钟工          

邮箱：zy799216548@qq.com

地址：广州市科学城科学大道创意大厦B3栋305单元

邮编：510760

特此函达。

附件：

1.《管式等离子体淀积炉安装规范》征求意见稿

2.《管式等离子体淀积炉安装规范》编制说明

3.《管式等离子体淀积炉安装规范》征求意见反馈表

4.《管式扩散氧化退火炉安装规范》征求意见稿

5.《管式扩散氧化退火炉安装规范》编制说明

6.《管式扩散氧化退火炉安装规范》征求意见反馈表

广东省企业创新发展协会

二零二四年一月四日

关于征求《管式等离子体淀积炉安装规范》等两项团体标准意见函.pdf

1.《管式等离子体淀积炉安装规范》征求意见稿.pdf

2.《管式等离子体淀积炉安装规范》编制说明.pdf

3.《管式等离子体淀积炉安装规范》征求意见反馈表.doc

4.《管式扩散氧化退火炉安装规范》征求意见稿.pdf

5.《管式扩散氧化退火炉安装规范》编制说明.pdf

6.《管式扩散氧化退火炉安装规范》征求意见反馈表.doc