中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟第七批团体标准立项评审会于2023年5月23日通过腾讯会议的形式召开，经联盟标准化委员会与会委员表决，同意本次申报的6项团体标准正式立项：

（1）《SiC器件功率循环试验方法》（牵头单位：中国科学院电工研究所）

（2）《半导体设备前置模块》（牵头单位：北京锐洁机器人科技有限公司）

（3）《金刚石单晶表面应力分布测定 拉曼光谱法》（牵头单位：中国科学院半导体研究所）

（4）《金刚石单晶中石墨相含量的测定 拉曼光谱法》（牵头单位：中国科学院半导体研究所）

（5）《碳化硅单晶抛光片堆垛层错的测试方法》（牵头单位：北京天科合达半导体股份有限公司）

（6）《碳化硅单晶切割片》（牵头单位：北京天科合达半导体股份有限公司）

现予以公告！

中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟

2023年5月23日

第七批团标立项评审会会议决议.pdf