各有关单位、各专委会：

由中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟归口管理，北京锐洁机器人科技有限公司等相关单位共同起草的《半导体设备前端模块》团体标准已完成征求意见稿，现面向社会各界公开征求意见。有关意见反馈，请填写附件二《团体标准意见反馈表》，并于2023年08月21日之前以邮件方式反馈至联系邮箱，逾期未回复意见的按无异议处理。

感谢支持与配合！

联 系 人：刘老师

联系电话：010-50875766-721

电子邮箱：lianmeng@iawbs.com

联系地址：北京市大兴区丰远街1号院

关于征求团体标准《半导体设备前端模块》(征求意见稿)的意见通知.pdf

附件一-《半导体设备前端模块》团体标准（征求意见稿）.pdf

附件二-团体标准征求意见信息表.docx