各位专家好：

自 2016 年 11 月以来，中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟深入贯彻国务院《关于深化标准化改革工作方案》的有关精神，严格按照《关于培育和发展团体标准的指导意见》和《团体标准化 第 1 部分：良好行为指南》、联盟《团体标准管理办法》的等文件开展团体标准工作。

在各参与单位的积极配合下，宽禁带联盟第五批团标《碳化硅外延层载流子浓度测定非接触电容-电压法》、《碳化硅栅氧界面态测定—非接触电容电压法》、《金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法》、《金刚石单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》四项标准经过立项、起草、草案讨论与修改等环节，已正式形成征求意见稿，现报送业内各位专家征求意见。

请各位专家将修改意见按附件 1 的格式于8月26日前返回至本邮箱。

谢谢配合！

祝好！

秘书处联系人：林雪如

电话：010-50875766转722

邮 箱：linxueru@iawbs.com

中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟秘书处

2022年7月28日

关于征求《碳化硅外延层载流子浓度测定非接触电容-电压法》（征求意见稿）等四项团体标准（第五批）意见的函.pdf

金刚石单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法.pdf

金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法.pdf

碳化硅栅氧界面态测定—非接触式电容电压法.pdf

碳化硅外延层载流子浓度测定—非接触电容电压法.pdf

附件1：团体标准征求意见信息表.docx