中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟第六批团体标准立项评审会于 2022 年 4 月 27 日通过腾讯会议的形式召开，经联盟标准化委员会与会委员表决，一 致同意本次团体标准申报立项中 3 项团体标准成功立项：

（1）《碳化硅晶片边缘轮廓检验方法》（牵头单位：北京天科合达半导体股份有限公司） 

（2）《碳化硅外延层深能级缺陷的测试电容瞬态法》（牵头单位：中国科学院半导体研究所）

（3）《碳化硅平面场效应晶体管阈值电压测试方法》（牵头单位：瑶芯微电子科技（上海）有限公司） 

现予以公告！

中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟秘书处

2022 年 4 月 27 日

第六批团标立项评审会会议决议.pdf